旋片式真空泵(簡稱旋片泵，又稱滑片式真空泵)是利用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片旋轉(zhuǎn)運動以獲得真空的一種變?nèi)輽C械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的油封旋片式真空泵;無工作液時，即為干式旋片式真空泵。其工作壓強范圍為1. 33×10 -2～1. 013×los Pa，屬于低真空泵。可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。
旋片式真空泵主要由泵體、旋片、轉(zhuǎn)子、彈簧、排氣閥等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。
旋片式真空泵的原理與結(jié)構(gòu)
兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按一定方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣閥相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，后與排氣閥相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級)，由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。
旋片泵在結(jié)構(gòu)上可分為油封式和油浸式兩大類。油封式結(jié)構(gòu)是指油箱設(shè)在泵體上，泵油起到密封排氣閥的作用;油通過排氣閥和油孔進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動件的表面覆蓋一層油膜，密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙，防止氣體返流;這些油還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間，以消除它們對極限壓強的影響;泵體靠水或風冷。一般大泵多采用這種結(jié)構(gòu)形式。油浸式結(jié)構(gòu)是將整個泵體浸在泵油中，泵油起到密封和冷卻作用。小泵和直聯(lián)泵多采用這種結(jié)構(gòu)形式，轉(zhuǎn)速可高達1450r/min，大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。
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